电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究

• 作者: 刘绪伟 卢景霄 吴芳 李红菊 杨根 王子健 王海燕 郜小勇
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束蒸发 ZnO:Al薄膜 衬底温度
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 1355-1358,1367
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.06.042

摘要

在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理.利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性.利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10-3Ω·cm.