磨轮进给系统精度设计

• 作者: 柳滨
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 滚珠丝杠副 滚动直线导轨 传动定位刚度 定位误差 闭环伺服控制 在线检测仪
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 设备制造与研究
• 页码范围: 31-34,50
• 页数: 5页
• 分类号: TN132
• 字数: 5143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.04.009

摘要

从机械设计和电气控制设计论述了晶片减薄机磨轮进给系统设计,尤其是磨轮进给系统定位精度实现的途径和关键环节.