钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展

• 作者: 冷文健 张继华 杨传仁 裴亚芳 陈宏伟
• 来源期刊: 绝缘材料
• 关键词: 钛酸锶铅(PST) 铁电薄膜 制备工艺 应用
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研制
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TM28
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9239.2006.06.008

摘要

综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol-gel)法、磁控溅射(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	51	360	10.0	15.0
3	张继华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	47	193	8.0	9.0
4	裴亚芳	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	18	2.0	3.0
5	冷文健	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	9	1.0	2.0