纳米粉体制程在线粒径测量系统的研发

• 作者: 张合 纪柏宏 钟清枝 陈亮嘉
• 来源期刊: 过程工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米粉体 粒径测量 在线测量 动态光散射 光学测量
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 超微颗粒
• 页码范围: 298-301
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 1654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1009-606X.2006.z2.063

摘要

发展了一套在线光纤式动态光散射粉体粒径测量系统,作为纳米颗粒制程粒径参数测量与分析.工业上对纳米粉体性质均一性(Uniformity)要求较高,为了获得在线制备纳米粉体颗粒的精确粒径大小与分布,本研究由激光动态光散射(Dynamic Light Scattering,DLS)原理,利用光纤探头方式,研制了一套在线粉体取样与粒径测量系统,针对目前台北科大自行研发的真空潜伏纳米流体制程(SANSS)进行了系统整合与测试.本研究针对100 nm标准粒径大小的聚苯乙烯(Polystyrene)粉体进行系统测量能力评估,确定了研发系统测量准确度(Accuracy)与重现性(Repeatability).实验结果显示,研发系统测量的平均粒径最大误差值在8%以下,初步确定测量系统可有效地监控纳米流体制程,提供纳米粉体制程的重要在线信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈亮嘉	台北科技大学自动化科技研究所	1	1	1.0	1.0
2	纪柏宏	台北科技大学机电整合研究所	1	1	1.0	1.0
3	张合	台北科技大学机电整合研究所	1	1	1.0	1.0
4	钟清枝	台北科技大学机电整合研究所	1	1	1.0	1.0