微驱动器及其驱动原理

• 作者: 刘晓阳 刘莹 周新 胡敏 陈兵芽
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: 微机械 微驱动器 驱动方式 驱动原理
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 143-146,152
• 页数: 5页
• 分类号: TP271+.32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2006.02.012

摘要

微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术.其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分.主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	陈兵芽	南昌大学机电工程学院	18	133	5.0	11.0
3	胡敏	南昌大学机电工程学院	49	390	8.0	18.0
4	周新		6	65	4.0	6.0
5	刘晓阳	南昌大学机电工程学院	5	64	3.0	5.0