高加速度运动和精确定位臂的振动主动控制

• 作者: 丁汉 周烁 孟光 李运堂
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 振动主动控制 耦合运动 高加速度运动 精确定位
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 振动·噪声·监测·诊断
• 页码范围: 6-12
• 页数: 7页
• 分类号: TB535|TB533
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2006.01.002

摘要

刚/柔耦合结构的高加速度运动和精确定位一直是航空航天机构、精密设备和机器人等高尖端技术领域的关键功能要求.文中以微电子和半导体制造领域中的高速精准运动臂为研究对象,首先回顾相关的结构动力学研究成果,从而对系统动力学特性进行系统总结;在此基础上,重点对振动主动控制方法进行分析和讨论,最后结合实际工程背景,提出目前尚需解决的关键问题以及相应的解决问题的新思路,从而为进一步的研究进展或突破提供可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李运堂	上海交通大学机器人研究所	3	34	3.0	3.0