光干涉理论在制膜工程技术中的应用

• 作者: 吴纲
• 来源期刊: 上海电机学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 光的干涉 光程差 镀膜
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 数理
• 页码范围: 70-71,75
• 页数: 3页
• 分类号: O439|TB43
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0020.2006.04.018

摘要

介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理,并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴纲	上海电机学院文理学院	4	2	1.0	1.0