衬底材料对μc-Si:H薄膜结构特性的影响

• 作者: 卢景霄 李瑞 杨仕娥 王海燕 陈永生
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体辅助化学气相沉积 拉曼散射谱 晶化率 团簇
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: TB611
• 字数: 2308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2006.02.002

摘要

对在不锈钢和玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜进行了拉曼光谱和扫描电子显微(SEM)分析.拉曼分析显示在相同的工艺参数下,玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜的晶化率高于不锈钢衬底上沉积的薄膜,这可能是由于衬底与等离子体之间的电势差不同和衬底表面形貌两方面所致.SEM观察表明玻璃衬底上沉积的μc-Si:H薄膜由尺寸介于200～100nm的团簇构成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永生	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	67	484	11.0	19.0
2	王海燕	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	62	372	11.0	16.0
3	杨仕娥	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	68	513	12.0	18.0
4	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	100	570	12.0	17.0
5	李瑞	郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室	35	173	8.0	11.0