新型MEMS光学电流传感器的设计

• 作者: 刘玉菲 吴亚明 徐静 赵本刚 高翔
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器 滤波 温度补偿
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 534-538
• 页数: 5页
• 分类号: TM452.93
• 字数: 2528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.05.008

摘要

提出了一种用于检测50 Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器.详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程,并模拟分析了器件在交流电100～3 600 A下的性能.结果表明:滤波后可得到稳定的测量光信号;温度变化±50 K时相应的测试误差为0.2%;器件在大电流下的灵敏度优于0.02 dB/A.