顶部线宽中曲线匹配法测量线宽的研究

• 作者: 储巍 李洪波 肖增文 赵学增
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米线宽 原子力显微镜 配准 数学形态学
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2006.06.004

摘要

针对原子力显微镜(AFM)在测量线宽等具有陡直边墙的表面形貌时针尖轮廓对测量结果有很大影响的问题,在用AFM可以获取较准确的刻线单侧边墙和顶部线宽的情况下,依据数学形态学理论和图像配准技术,提出了从一面测量后旋转样品再从另一面测量,并基于刻线顶部线宽中曲线配准图像测量线宽的方法,仿真出了配准后的测量图像,给出了配准图像的线宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	李洪波	哈尔滨工业大学机电工程学院	37	207	9.0	11.0
3	肖增文	哈尔滨工业大学机电工程学院	14	87	6.0	8.0
4	储巍	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0