激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响

• 作者: DUBIEL M HOFMEISTER H RIEHEMANN W 杨修春 黄文旻
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 Al2O3-ZrO2固溶度 结晶度 无序度
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 677-682
• 页数: 6页
• 分类号: TB44
• 字数: 2706字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.026

摘要

利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同Al2O3-ZrO2固溶体相比,无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.