新型大规模三维均匀低温等离子源理论及设计

• 作者: 徐伟 程方 袁斌
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 横向磁化 三维均匀 等离子源
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2006.03.006

摘要

给出了一种新型大规模三维均匀低温等离子源的工作原理、设计参数和具体实现方案.它使传统感应等离子源由二维均匀转变为三维均匀成为可能,为新型大规模集成芯片加工设备--等离子铣提供了必要的理论及技术准备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁斌	上海交通大学电子工程系	35	74	4.0	6.0
2	徐伟	上海交通大学电子工程系	50	211	9.0	12.0
3	程方	上海交通大学电子工程系	2	3	1.0	1.0