磁控反应溅射TiO2薄膜的实验研究

• 作者: 刘坤 巴德纯 常学森 张健 李飞 闻立时
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米二氧化钛薄膜 氧流量 亲水性 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.04.004

摘要

应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属Ti靶、纯Fe靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的Fe掺杂TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上.薄膜的制备用程序控制.通过在TiO2薄膜中形成一定的结构,并利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响.实验表明程序自动控制不同氧流量Fe掺杂TiO2薄膜的特性有了很大改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	刘坤	东北大学真空与流体工程研究中心	55	274	11.0	15.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	张健	东北大学真空与流体工程研究中心	17	69	4.0	7.0
5	李飞	东北大学真空与流体工程研究中心	21	128	6.0	10.0
6	常学森	东北大学真空与流体工程研究中心	8	90	5.0	8.0