用PLD法在MgO(100)衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性

• 作者: 刘艳美 周圣明 李爱侠 汪洪 苏凤莲
• 来源期刊: 安徽大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 脉冲激光沉积 X射线衍射 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2162.2006.02.018

摘要

用脉冲激光沉积法在MgO(100)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为400℃、550℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明,在400℃和550℃下生长的ZnO薄膜具有高度c-轴择优取向,但是当衬底温度升高到700℃时,薄膜由单一的择优取向变为有两个较强的择优取向.通过光致发光谱可以发现,在550℃下生长的ZnO薄膜具有强的紫外发射和窄的FWHM,并且紫外发光峰的强度与ZnO薄膜的结晶质量密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘艳美	安徽大学物理与材料科学学院	37	186	7.0	11.0
2	周圣明	安徽大学物理与材料科学学院	10	39	5.0	5.0
6	李爱侠	安徽大学物理与材料科学学院	37	194	9.0	11.0
7	汪洪	安徽大学物理与材料科学学院	26	123	7.0	10.0
8	苏凤莲	安徽大学物理与材料科学学院	4	24	3.0	4.0