锆钛酸铅成分梯度薄膜的介电及铁电性能研究

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 ε-V及tan δ-V
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 452-454,457
• 页数: 4页
• 分类号: TM221
• 字数: 3438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2006.04.025

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr, Ti)O3成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,结果证实其成分梯度的存在.经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.经介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象.经ε-V特性曲线测试表明,梯度薄膜的介电常数-电压(ε-V)及介质损耗-电压(tan δ-V)曲线呈现典型的双峰特性,并且左右不对称.经不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	苏州科技学院电子与信息工程系	21	63	6.0	7.0