液流悬浮抛光技术的应用研究

• 作者: 吕松 王从东
• 来源期刊: 安徽建筑工业学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 液流悬浮 抛光 超光滑表面
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 81-83
• 页数: 3页
• 分类号: TH706
• 字数: 2239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4540.2006.04.024

摘要

应用液流悬浮抛光技术获得的光电产品表面,不仅具有较好的表面粗糙度,而且抛光面没有亚表面破坏层,并且由抛光引起的表面残余应力极小.同时研制了数控液流悬浮抛光机床,并对硅晶片等材料进行了加工试验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王从东	安徽理工大学科技产业处	26	104	5.0	9.0
2	吕松	安徽理工大学科技产业处	11	34	3.0	5.0