基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计

• 作者: 孙道恒 王凌云 陈义华
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 遂道效应 可靠性 自检 陀螺仪 平板电极
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 61-63,66
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.05.020

摘要

在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一.陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力.通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌云	厦门大学机电工程系	32	191	7.0	12.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	陈义华	厦门大学机电工程系	3	24	2.0	3.0