含钇螯合物制备及感光性研究

• 作者: 张黄莉 薛人中 赵高扬
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 含钇螯合物 化学修饰 微细图形
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 2006年中国材料研讨会先进材料设备加工技术分会
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: O614.3
• 字数: 1270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2006.z2.010

摘要

以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜.研究了这种凝胶膜的紫外、红外光谱特性,发现了在330 nm处有与含钇螯合物相关的吸收峰,这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照射薄膜后,含钇螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含钇螯合物分解.伴随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形;经过600 ℃热处理30 min,得到了具有立方相氧化钇薄膜的微细图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	张黄莉	西安理工大学材料科学与工程学院	5	16	3.0	4.0
3	薛人中	西安理工大学材料科学与工程学院	3	13	3.0	3.0