10cm×30cm矩形射频离子束源的研制

• 作者: 苏志伟 陈庆川 韩大凯
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频离子束源 电感耦合等离子体 离子束刻蚀 离子束抛光
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 734-737
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2006.10.004

摘要

本文介绍了射频(Radio frequency,RF)感应耦合等离子体(Inductive couple plasma,ICP)离子束源的设计研究.该射频离子束源可工作于Ar,在使用四栅引出系统时,可获得100-1000 eV的离子束.当射频功率为900 W,在Ar为工作气体时,束流可达到600 mA.在束流为120 mA时,距源26 cm处,在主轴方向27 cm的范围内不均匀性小于±6%.该离子束源可作为大面积离子束刻蚀、离子束抛光等的离子束源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈庆川		23	63	5.0	7.0
2	苏志伟		2	4	1.0	2.0
3	韩大凯		9	41	4.0	6.0