分层沉积GaAs/SiO2纳米薄膜的结构和吸收光谱

• 作者: 丁瑞钦 吴桐庆 朱慧群 王忆
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 GaAs/SiO2纳米薄膜 氢掺杂 吸收光谱
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 630-634
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3538字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.044

摘要

应用射频磁控溅射方法分别在抛光硅片和石英玻璃片上分层沉积了GaAs/SiO2纳米薄膜.通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及吸收光谱的测试,发现衬底温度、退火、氢掺杂等制备工艺对分层沉积的GaAs/SiO2纳米薄膜的微观结构和光学性质有明显的影响.本文对相关机理作了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王忆	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	59	242	8.0	12.0
2	朱慧群	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	29	82	4.0	6.0
3	丁瑞钦	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	29	115	6.0	9.0
4	吴桐庆	华南理工大学物理科学与技术学院	3	1	1.0	1.0