Bi3.25La0.75 Ti3O12薄膜的制备及性能研究

• 作者: 刘毅 张曰理 杜凤娟 阳生红
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: BLT 化学溶液法 光学常数
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 125-127,136
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2006.06.028

摘要

用化学溶液法在P-SI(100)衬底上制备出了一系列不同退火温度的Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)铁电薄膜.通过X-射线衍射、扫描电镜及椭偏光谱测量研究,得到了一系列BLT薄膜结晶状况、表面形貌及光学常数谱.其结果显示:BLT薄膜表面均匀、致密,没有裂纹;随着退火温度的升高BLT薄膜晶化越来越好,当退火温度为690℃时,BLT基本完全晶化;非晶态的BLT薄膜折射率明显低于晶态BLT薄膜的折射率,随着BLT薄膜退火温度的增加,薄膜折射率n增大且其消光系数k也略有增加.