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摘要:
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金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
信号接收器
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 CN200420070516一种金刚石膜高速精密抛光装置
来源期刊 磨料磨具通讯 学科 工学
关键词 抛光装置 金刚石膜 高速精密 驱动装置 扩散温度 抛光盘 低温加热 相对运动 表面温度 实用新型
年,卷(期) mlmjtx_2006,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17
页数 1页 分类号 TG580.692
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
抛光装置
金刚石膜
高速精密
驱动装置
扩散温度
抛光盘
低温加热
相对运动
表面温度
实用新型
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
月刊
河南省郑州市华山路121号
出版文献量(篇)
5059
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9
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