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CN200420070516一种金刚石膜高速精密抛光装置
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摘要：
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一种快速测定CVD金刚石膜磨耗比的方法
CVD金刚石膜
磨耗比
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
信号接收器
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
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关键词云
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研究主题发展历程
节点文献
抛光装置
金刚石膜
高速精密
驱动装置
扩散温度
抛光盘
低温加热
相对运动
表面温度
实用新型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
主办单位：
全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
河南省郑州市华山路121号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
5059
总下载数（次）
9
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