DWDM窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略

• 作者: 史铁林 易新建 李晓平
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学 窄带滤光片 误差与膜厚监控 密集波分复用
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 313-316
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.03.005

摘要

为了提高密集波分复用(DWDM)薄膜窄带滤光片制备的成品率,讨论了用于DWDM薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差,采用Monte Carlo允差分析原理分析用于DWDM窄带滤光片膜层的容差,以便选择更易制备的膜系;计算膜层的Macleod极值灵敏度,得到所选膜系各个膜层的误差要求;模拟光学监控过程和计算膜层导纳,能够得到膜层制备过程中膜层之间膜厚的补偿关系.实验表明,据此制定的膜厚监控策略,对于DWDM窄带滤光片膜层的制备和保证成品率是非常关键的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电子工程系	102	1261	21.0	29.0
2	史铁林	华中科技大学微系统研究中心	192	2245	25.0	38.0
3	李晓平	华中科技大学光电子工程系	10	33	3.0	5.0