用共蒸发法制备AlSb多晶薄膜

• 作者: 冯良桓 姚菲菲 张静全 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 雷智 黎兵
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlSb 退火 多晶薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1578-1581
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+3
• 字数: 2759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.09.012

摘要

采用元素共蒸发法结合退火处理制成了AlSb多晶薄膜.利用x射线衍射、透射光谱、暗电导温度关系等方法研究了薄膜的结构、光学和电学性质.发现540℃退火后得到的AlSb多晶薄膜呈立方相结构,间接跃迁光能隙为1.62eV,电导激活能约为0.33eV.研究结果表明,AlSb薄膜有可能成为新型太阳电池的重要材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学系	78	424	10.0	17.0
2	蔡亚平	四川大学材料科学系	33	302	10.0	16.0
3	郑家贵	四川大学材料科学系	49	317	9.0	15.0
4	张静全	四川大学材料科学系	69	285	8.0	15.0
5	蔡伟	四川大学材料科学系	30	296	10.0	16.0
6	李卫	四川大学材料科学系	56	193	7.0	12.0
7	雷智	四川大学材料科学系	8	39	4.0	6.0
8	武莉莉	四川大学材料科学系	56	217	8.0	13.0
9	姚菲菲	四川大学材料科学系	3	14	2.0	3.0
10	黎兵		1	11	1.0	1.0