不同PT厚度的PZT/PT复合薄膜的性能研究

• 作者: 姚熹 张良莹 李于利 汪静
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 复合薄膜 PZT/PT sol-gel法 介电性能
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 2419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.01.012

摘要

采用改进的sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备PZT/PT复合薄膜(共10层),PT的层数分别为2,4,6和8层.结果表明,600℃热处理的PZT/PT复合薄膜为钙钛矿结构,无第二相.随着PT厚度的增加,εr变小,100 kHz时为313～228.tgδ在频率低于100 kHz时,不随PT厚度变化,为0.015左右;频率为100 kHz～1 MHz时,PZT6/PT4 tgδ最大,1 MHz时仍小于0.06.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	同济大学功能材料研究所	123	956	16.0	21.0
2	张良莹	同济大学功能材料研究所	81	658	13.0	19.0
3	汪静	同济大学功能材料研究所	4	27	2.0	4.0
4	李于利	同济大学功能材料研究所	1	1	1.0	1.0