籽晶层对喷雾热分解法生长ZnO薄膜结晶质量和光电性能的影响

• 作者: 于伟东 古彦飞 李效民 杨长 赵俊亮
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 籽晶层 喷雾热分解法 结晶质量 光电性能
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 933-938
• 页数: 6页
• 分类号: O472.4
• 字数: 3259字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.06.018

摘要

通过脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上沉积一层高质量的ZnO籽晶层,在籽晶层上进一步采用超声喷雾热分解(USP)法生长ZnO薄膜,研究了籽晶层对ZnO薄膜结晶质量和ZnO/Si异质结光电特性的影响.研究结果表明,在籽晶层的诱导作用下, USP法生长ZnO薄膜由多取向结构变为(002)单一取向,结晶性能得到了显著改善;籽晶层上生长的薄膜呈现出垂直于衬底生长的柱状晶结构,微观结构更加致密.通过研究紫外光照前后ZnO/Si异质结的整流特性,发现引入籽晶层后,反向偏压下异质结的光电响应显著增加,并且在开路状态下出现明显的光伏效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李效民	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	24	197	10.0	13.0
2	于伟东	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	18	118	7.0	10.0
3	杨长	中国科学院上海硅酸盐研究所	1	7	1.0	1.0