GaN薄膜制备及脉冲激光沉积法的研究进展

• 作者: 刘忠明 姜德生 童杏林 罗梦泽
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: GaN薄膜 激光沉积
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 5131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.01.003

摘要

介绍了国内外制备GaN材料的历史和现状.分析了GaN材料及其薄膜的各种制备工艺的特点,并详细介绍了采用激光沉积工艺制备GaN薄膜的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德生	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	202	2882	27.0	39.0
2	刘忠明	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	6	35	3.0	5.0
3	童杏林	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	31	105	6.0	8.0
4	罗梦泽	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	2	15	1.0	2.0