傅里叶变换存储光刻系统的研制

• 作者: 沈雁 浦东林 解剑锋 陈林森
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 傅里叶变换全息图 全息存储 光刻系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 51-52
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.05.022

摘要

研制了一种傅里叶变换存储光刻系统,为在光刻胶干版上进行傅里叶变换存储研究提供了一种有效的工具.系统采用空间光调制器作为图像输入,能够对图像进行空间、角度复用自动记录傅里叶全息图.由于曝光时间达到毫秒级,记录过程对振动不敏感,不需要防震全息台.系统输入图像的条纹最高空间频率为每毫米19线对,记录频率达每分钟10次.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦东林	苏州大学信息光学工程研究所	22	47	4.0	5.0
2	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
3	解剑锋	苏州大学信息光学工程研究所	7	71	6.0	7.0
4	沈雁	苏州大学信息光学工程研究所	12	113	7.0	10.0