p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响

• 作者: 孙建 张存善 张晓丹 范红兵 谷士彬 赵颖 魏长春
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO p型传导 超声喷雾热分解 衬底温度
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 739-742
• 页数: 4页
• 分类号: TN302
• 字数: 2207字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.04.016

摘要

本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO 薄膜.研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响.霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm- 3 .样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳.