我国低温等离子体研究进展(Ⅰ)

• 作者: 江南
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子体 低温等离子体物理 低温等离子体诊断 低温等离子体应用
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 低温等离子体及其应用专题
• 页码范围: 130-139
• 页数: 10页
• 分类号: O53
• 字数: 9010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.02.008

摘要

低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象,如磁场重联、尘埃等离子体等,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面,几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及,包括微电子工业中的等离子体工艺,各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.随着低温等离子体技术的发展,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江南	中国科学院物理研究所	110	2450	30.0	46.0