微/纳米尺度构件力学性能测试技术研究

• 作者: 朱春耕 胡礼广 蒋洪奎 钟俊坚
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 力学性能 纳米压入法 鼓泡法 微拉伸法 微梁弯曲法
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 77-79,84
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5
• 字数: 3275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.026

摘要

微纳米尺度构件作为微纳米机电系统的重要组成部分,其力学性能是设计、制造微纳米机电系统的重要参数,对微纳米机电系统的使用性能、可靠性、服役寿命等均会产生显著的影响.由于受到量子效应、尺度效应、表面效应的影响,传统的测试技术已无法满足需要.结合国内外微纳米尺度构件力学性能测试的最新动态,介绍了纳米压入法、鼓泡法、微拉伸法、微梁弯曲法等测试方法的机理、应用及存在的主要问题.最后指出了微尺度力学性能测试的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪奎	浙江师范大学交通学院	28	68	5.0	6.0
2	朱春耕	浙江师范大学交通学院	18	49	5.0	6.0
3	胡礼广	浙江师范大学交通学院	29	64	5.0	6.0
4	钟俊坚	浙江师范大学交通学院	6	14	3.0	3.0