基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究

• 作者: 仝召民 张文栋 张斌珍 熊继军 王建 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: RTD振荡器 压力-频率特性 GaAs 悬臂式声传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2293-2296
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.260

摘要

实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTE)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84 kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	王建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	40	4.0	6.0
3	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
4	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
5	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
6	仝召民	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	22	2.0	4.0