激光束诱导电流谱技术表征红外器件几何结构

• 作者: 全知觉 陆卫 陈贵宾
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光束诱导电流谱 探测器单元
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.01.003

摘要

硼离子注入p型HgCdTe薄膜材料制备的光伏型红外探测器光敏元实际面积对器件结构的优化设计、器件性能研究具有重要意义.通过高分辨率、非直接接触的激光束诱导电流谱表征手段获取HgCdTe光伏型器件单元的几何结构信息,结果表明离子注入形成的n型区域的面积明显大于离子实际注入的区域面积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆卫	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	95	442	12.0	16.0
2	全知觉	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	10	65	5.0	7.0