现代X光电子能谱(XPS)分析技术

• 作者: 刘洁 吴正龙
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 单色XPS 小面积XPS 成像XPS 显微分析
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器评介
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TH83
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2006.01.017

摘要

现代电子能谱仪有3个主要功能:单色XPS(Mono XPS)、小面积XPS(SAXPS)和成像XPS(iXPS),被认为是光电子能谱仪发展方向.本文介绍这3个功能突出的特点及在材料微分析方面的实际应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0
2	刘洁	北京师范大学分析测试中心	12	155	5.0	12.0