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摘要:
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人类活动对大气臭氧层的影响
大气臭氧
损耗
人类活动
响应
废水臭氧氧化技术及其工程应用
臭氧氧化
废水处理
工程应用
臭氧化冰的制备与保存初探
臭氧化冰
制备
保存
释放
臭氧、臭氧/双氧水催化氧化深度处理化工废水
臭氧催化
臭氧/双氧水
化工废水
深度处理
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 臭氧推动隧道氧化层的发展
来源期刊 集成电路应用 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2006,(11) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 30
页数 1页 分类号 TN4
字数 1091字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2006.11.013
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
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15
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