热氧化复合薄膜制备针叶状纳米ZnO

• 作者: 王书运
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控复合溅射 退火 复合薄膜 针叶状ZnO
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+3
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.006

摘要

采用射频磁控复合溅射技术,在Si(111)衬底上制备Zn/SiO2复合薄膜,本文讨论了不同退火时间下形成的晶状氧化锌,并对其进行了X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及选区电子衍射(SAED)分析和表征.可以看出,由于不同材料的结晶温度不同,在空气中700℃退火热处理,使金属锌从复合薄膜中析出并氧化,形成针叶状氧化锌结晶体,ZnO晶体为六方纤锌矿结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王书运	山东师范大学物理与电子科学学院	57	450	11.0	19.0