压弯光栅线密度检测

• 作者: 付绍军 刘斌 刘正坤 徐向东 楼俊 王秋平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压弯光栅 线密度 光学检测
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 986-989
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1|TH741
• 字数: 1276字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.06.011

摘要

对压弯光栅的线密度进行了实验研究.首先制作了大变化率的变线距光栅(约9.2 line/mm),并选取薄玻璃(0.16 mm)作为光栅基底材料.其后采用长程面形仪测试压弯后光栅面形,使用衍射法测试压弯前后光栅线密度,从而得到线密度的变化曲线.实验与理论计算结果误差小于0.41 line/mm rms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	230	3876	32.0	56.0
2	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	王秋平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	37	235	8.0	13.0
5	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
6	楼俊	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	5	39	4.0	5.0