脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究

• 作者: 严一心 刘缠牢 梁海锋
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 脉冲电弧 光学特性 机械特性
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4|TG174.444
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.012

摘要

利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性.用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度.结果表明薄膜在光谱范围1.25～10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa的维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严一心	西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室	43	232	9.0	12.0
2	梁海锋	西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室	35	180	7.0	12.0
3	刘缠牢	西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室	41	254	9.0	14.0