硅基波导共振增强型光电探测器的设计与模拟

• 作者: 李成 陈荔群
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Si/SiGe 波导共振增强型 探测器
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1476-1479
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.028

摘要

SiGe是间接带隙材料,吸收系数非常小,因而SiGe探测器在红外波段的量子效率很低.本文提出一种新型的探测器结构,即波导共振增强型光电探测器,该器件主要由两个介质布拉格反射镜和波导吸收区构成,器件尺寸较传统波导型探测器大为减小,吸收区的长度不受SiGe临界厚度的限制,实现了量子效率和响应速度的优化.本文在数值模拟的基础上,对器件结构进行了优化设计,结果表明7.6μm长的波导探测器可以得到20%以上的量子效率.