溅射法镀二氧化钛薄膜靶材及工艺研究进展

• 作者: 储茂友 王星明 王赞海 赵鑫 郭奋 黄松涛
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: 溅射 靶材 二氧化钛薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: O643.32
• 字数: 3057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2006.02.012

摘要

介绍了溅射法镀膜的基本原理,阐述了溅射法镀二氧化钛薄膜用靶材及相应溅射镀膜工艺的研究现状.溅射镀TiO2薄膜用靶材主要有金属钛、二氧化钛和"非化学计量"二氧化钛靶材3大类.由于钛的氧化态及靶材导电性不同,它们对溅射工艺(如溅射气氛等)有一定具体的要求,通过对靶材和相应工艺进行分析比较,指出应用"非化学计量"靶材是溅射法制备二氧化钛薄膜技术发展的重要方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭奋	北京化工大学教育部超重力研究中心	98	1828	24.0	38.0
2	黄松涛		47	456	14.0	18.0
3	储茂友		25	211	10.0	14.0
4	王星明		24	157	9.0	12.0
5	赵鑫		4	54	3.0	4.0