一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型

• 作者: 丁桂甫 佐藤一雄 安藤妙子 式田光宏 李雪萍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 机械性能 坡莫合金 拉伸试验
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 封装与可靠性
• 页码范围: 1595-1598
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 3247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.074

摘要

坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成:坡莫合金拉伸试件以光刻和电镀技术成型,其余的加载机构以湿法蚀刻制成.实验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础.