ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨

• 作者: 周宏明 易丹青 杨小玲
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铟锡氧化物薄膜 制膜工艺 溶胶-凝胶法 发展趋势
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综述·专论
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB304.2
• 字数: 5370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2006.01.001

摘要

综述了铟锡氧化物(ITO)薄膜的生产技术概况及其发展趋势.介绍了ITO薄膜的主要制备技术的制备原理,包括磁控溅射法、溶胶-凝胶法、化学气相沉淀法、喷雾热分解法及真空蒸发法等5种制膜工艺,并对其优缺点进行了分析.指出ITO薄膜生产技术的发展趋势为:1)大力开发溶胶-凝胶工艺;2)进一步深入研究其合成机理与性能;3)拓宽应用领域;4)开发先进的薄膜制备工艺技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易丹青	中南大学材料科学与工程学院	276	3068	28.0	37.0
2	周宏明	中南大学材料科学与工程学院	57	444	11.0	19.0
3	杨小玲	厦门大学化学化工学院化学工程与生物工程系	3	38	2.0	3.0