用干涉方法测量薄膜应力

• 作者: 吴平 姜德怀 张蓓 赵雪丹 邱宏 陈森 黄筱玲
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 银薄膜 应力 基片弯曲法 牛顿环
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 2239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2006.09.002

摘要

基于基片弯曲法和牛顿环的基本原理,使用He-Ne激光器、扩束镜、凸透镜和带分光镜的移测显微镜,搭建了薄膜应力测量装置.采用直流溅射法制备了厚度为30～144 nm的银薄膜,衬底采用厚度为0.15 mm、直径为18 mm的圆形玻璃片.实验发现,薄膜厚度对银薄膜的内应力有显著的影响,在薄膜厚度很小时,随着薄膜厚度的增加,应力迅速增大,达到最大值后,随着厚度的继续增加,薄膜应力下降较快并趋于稳定值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴平	北京科技大学应用科学学院	93	481	11.0	17.0
2	邱宏	北京科技大学应用科学学院	37	225	9.0	13.0
3	黄筱玲	北京科技大学应用科学学院	12	104	6.0	10.0
4	张蓓	北京科技大学应用科学学院	18	73	6.0	7.0
5	赵雪丹	北京科技大学应用科学学院	23	88	5.0	8.0
6	陈森	北京科技大学应用科学学院	37	166	7.0	10.0
7	姜德怀	北京科技大学应用科学学院	1	9	1.0	1.0