GaAs MEMS微波功率传感器的设计与模拟

• 作者: 廖小平 陈宁娟
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微波功率 热偶
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 79-81
• 页数: 3页
• 分类号: TN377|TN405
• 字数: 1687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.01.022

摘要

已有的微机械直接加热终端式微波功率传感器是基于CMOS工艺的,该结构基于GaAs MMIC工艺,它可以与GaAs微波电路实现单片集成. 它的基本工作原理是热电效应,制备中使用了GaAs体加工技术来减少热量损失.并用软件对其温度场和反射系数进行了模拟.该传感器用于X波段,它的输入功率是0到50 mW, 灵敏度为0.54 V/W,输入端S11参数约为-15 dB.