刀具表面超晶格TiN/AlN纳米多层膜的制备和研究

• 作者: 吴新杰 张细菊 潘应君 陈大凯 陈淑花
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 刀具 TiN/AlN纳米多层膜 多弧离子镀 耐腐蚀
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TG7
• 字数: 2540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2006.05.005

摘要

采用脉冲多弧离子镀技术制备TiN/AlN纳米多层膜,随着调制周期的减小,稳定态六方AlN相逐渐转变成亚稳态立方AlN相,形成以TiN/AlN超晶格结构为主的超硬薄膜.与标准图谱的对比可知,TiN/AlN超晶格是AlN在模板立方TiN材料的影响下,在TiN层上以亚稳态相立方结构外延生长所形成.试验表明TiN/AlN薄膜具有良好的耐腐蚀性能以及使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘应君		72	522	12.0	19.0
2	陈淑花		5	30	4.0	5.0
3	吴新杰		22	234	9.0	14.0
4	陈大凯		10	99	5.0	9.0
5	张细菊		21	219	10.0	14.0