适用于神经接口的硅基微电极制作

• 作者: 张若昕 裴为华 陈弘达 隋晓红 鲁琳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极阵列 神经接口 MEMS工艺
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1703-1706
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.001

摘要

采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列,用于提取脑神经电信号.在整个工艺制作过程中需要三步光刻,制作的硅针长1.2mm,宽100μm,厚30μm,同时各个记录点的间距为200μm,可以形成良好的信号隔离.对微电极的阻抗特性进行了体外测试,结果表明,随着频率由0变为10MHz,单个记录点阻抗由14MΩ下降到1.9kΩ.将微电极黏附到印刷线路板,通过金丝压焊提取各个通道信号,大大提高了植入的可操作性以及信号提取的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弘达	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	82	341	10.0	13.0
2	鲁琳	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	4	23	3.0	4.0
3	裴为华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	18	73	5.0	8.0
4	隋晓红	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	6	49	5.0	6.0
5	张若昕	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	3	27	3.0	3.0