提高准分子激光打孔质量的方法研究

• 作者: 刘世炳 郭商勇 陈涛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光钻孔 准分子激光 掩模 打孔质量
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 625-627
• 页数: 3页
• 分类号: TG665
• 字数: 1692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.06.026

摘要

为了提高准分子激光打孔质量,分析了影响现行加工系统打孔质量的因素,在此基础上提出利用钻孔法改进打孔效果的解决方案.根据此方案设计了加工光路,进行了微孔加工实验.实验结果表明,采用248 nm准分子激光加工有机材料聚甲基丙烯酸甲酯,微孔形状规则,孔径锥度可减小至0.055.该加工系统和方法提高了微孔加工的速度和质量,在微加工领域具有很好的实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	刘世炳	北京工业大学激光工程研究院	33	139	7.0	10.0
3	郭商勇	北京工业大学激光工程研究院	3	20	3.0	3.0