基于微模塑复制技术的平面线圈研制

• 作者: 刘波 吴一辉 张平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面线圈 微模塑 微沟槽 模版 固化
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1963-1966,1969
• 页数: 5页
• 分类号: TM5
• 字数: 2733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.172

摘要

作为硅微机械技术的替代,低成本的聚合物微制作变得越来越重要.在本研究中,开发了一种微模塑工艺,用以制作以聚合物为基底的平面线圈,将提高其可靠性,降低制造成本.双面密集微沟槽(100μm×70 μm)阵列是线圈基底的一大特点,其初始图形用MEMS技术刻制在硅片上;利用PDMS良好的柔性、弹性和复型分辨率的特性制作了过渡模版,通过图形转移技术成功解决了刚性脱模难的问题.探索出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳模塑成型方法.通过电铸,制得了厚度为0.7 mm、直径φ20 mm的平面微电机定子线圈.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉		13	103	5.0	9.0
2	张平		5	40	3.0	5.0