采用时间相位展开的高度坐标校准方法

• 作者: 岳慧敏 李泽仁 苏显渝
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 轮廓测量 图像处理 相位高度映射 时间相位展开
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量与系统
• 页码范围: 103-107
• 页数: 5页
• 分类号: O432
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.01.025

摘要

在相位测量轮廓术中,需要建立空间相位分布和高度坐标之间的映射关系,这一过程又称为系统校准.本文提出了一种基于时间相位展开的高度坐标校准方法.对于模块校准过程中虚拟平面的连续相位分布的恢复以及它们之间准确相对位置的恢复问题,采用了负指数序列的时间相位展开.该方法具有过程简单的特点,对平面校准的标准偏差为0.20mm.实验结果证明了该校准方法的有效性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏显渝	四川大学光电科学技术系	258	3656	33.0	46.0
2	岳慧敏	四川大学光电科学技术系	6	123	5.0	6.0
3	李泽仁	中国工程物理研究院流体物理研究所	117	593	12.0	17.0