调焦光路中超精密双等位环平板电容位移传感器研究

• 作者: 张建寰 杨晓东 高学敏
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 电容传感器 双等位环 微机电系统 阿贝原理
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 溯源技术和新仪器的研制
• 页码范围: 203-206
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.054

摘要

在应用共焦显微镜原理实现对超精加工表面的几何量测量中,设计了一种环状的电容位移传感器,对物镜的调焦位移进行测量,使测量光轴从极板的中心孔穿过,测量位移方向与光路的光轴重合,与阿贝原理相符;采用微机电系统(MEMS)工艺加工双等位环电容极板,电容器极板很薄,间隙小于2μm,减小边缘效应附加电容,从而极大地提高了测量的线性和测量精度.设计了处理电路,对该传感器进行了标定,在0～30μm内,其线性度为0.05%,分辨力优于0.01μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓东	厦门大学机电工程系	25	145	6.0	11.0
2	张建寰	厦门大学机电工程系	33	133	7.0	10.0
3	高学敏	厦门大学医学院	3	7	1.0	2.0